ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் பயன்பாட்டு புலங்கள்

நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் பல குறிப்புகள் உள்ளன, மேலும் அவற்றின் பயன்பாட்டு புலங்களும் மிகவும் பரந்தவை.வெவ்வேறு துறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் இலக்குகளின் வகைகளும் வேறுபட்டவை.இன்று, RSM இன் எடிட்டரைக் கொண்டு ஸ்பட்டரிங் டார்கெட் அப்ளிகேஷன் ஃபீல்டுகளின் வகைப்பாடு பற்றி அறிந்து கொள்வோம்!

　　1, sputtering இலக்கு வரையறை

மெல்லிய படலப் பொருட்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்று ஸ்பட்டரிங்.இது அயனி மூலத்தால் உற்பத்தி செய்யப்படும் அயனிகளை முடுக்கி வெற்றிடத்தில் சேகரித்து அதிவேக அயனி கற்றை உருவாக்குகிறது, திடமான மேற்பரப்பை வெடிக்கச் செய்கிறது, மேலும் அயனிகள் திடமான மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்களுடன் இயக்க ஆற்றலைப் பரிமாறிக் கொள்கின்றன, இதனால் திடப்பொருளில் உள்ள அணுக்கள் மேற்பரப்பு திடப்பொருளிலிருந்து பிரிக்கப்பட்டு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகிறது.குண்டுவீசப்பட்ட திடமானது, ஸ்பட்டரிங் மூலம் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட மெல்லிய படலத்தை தயாரிப்பதற்கான மூலப்பொருளாகும், இது ஸ்பட்டரிங் இலக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

　　2, sputtering இலக்கு பயன்பாட்டு புலங்களின் வகைப்பாடு

　1. செமிகண்டக்டர் இலக்கு

(1) பொதுவான இலக்குகள்: இந்த துறையில் பொதுவான இலக்குகளில் டான்டலம் / செம்பு / டைட்டானியம் / அலுமினியம் / தங்கம் / நிக்கல் போன்ற உயர் உருகும் புள்ளி உலோகங்கள் அடங்கும்.

(2) பயன்பாடு: முக்கியமாக ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு முக்கிய மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: தூய்மை, அளவு, ஒருங்கிணைப்பு போன்றவற்றுக்கான உயர் தொழில்நுட்பத் தேவைகள்.

　　2. பிளாட் பேனல் காட்சிக்கான இலக்கு

(1) பொதுவான இலக்குகள்: இந்தத் துறையில் உள்ள பொதுவான இலக்குகளில் அலுமினியம் / செம்பு / மாலிப்டினம் / நிக்கல் / நியோபியம் / சிலிக்கான் / குரோமியம் போன்றவை அடங்கும்.

(2) பயன்பாடு: தொலைக்காட்சிகள் மற்றும் குறிப்பேடுகள் போன்ற பல்வேறு வகையான பெரிய பகுதி படங்களுக்கு இந்த வகையான இலக்கு பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: தூய்மை, பெரிய பகுதி, சீரான தன்மை போன்றவற்றுக்கான உயர் தேவைகள்.

　　3. சூரிய மின்கலத்திற்கான இலக்கு பொருள்

(1) பொதுவான இலக்குகள்: அலுமினியம் / தாமிரம் / மாலிப்டினம் / குரோமியம் / ITO / Ta மற்றும் சூரிய மின்கலங்களுக்கான பிற இலக்குகள்.

(2) பயன்பாடு: முக்கியமாக "சாளர அடுக்கு", தடுப்பு அடுக்கு, மின்முனை மற்றும் கடத்தும் படலத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: உயர் தொழில்நுட்ப தேவைகள் மற்றும் பரந்த பயன்பாட்டு வரம்பு.

　　4. தகவல் சேமிப்பிற்கான இலக்கு

(1) பொதுவான இலக்குகள்: கோபால்ட் / நிக்கல் / ஃபெரோஅலாய் / குரோமியம் / டெல்லூரியம் / செலினியம் மற்றும் தகவல் சேமிப்பிற்கான பிற பொருட்களின் பொதுவான இலக்குகள்.

(2) பயன்பாடு: இந்த வகையான இலக்கு பொருள் முக்கியமாக காந்த தலை, நடுத்தர அடுக்கு மற்றும் ஆப்டிகல் டிரைவ் மற்றும் ஆப்டிகல் டிஸ்க்கின் கீழ் அடுக்குக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: அதிக சேமிப்பு அடர்த்தி மற்றும் அதிக பரிமாற்ற வேகம் தேவை.

　　5. கருவி மாற்றத்திற்கான இலக்கு

(1) பொதுவான இலக்குகள்: கருவிகளால் மாற்றியமைக்கப்பட்ட டைட்டானியம் / சிர்கோனியம் / குரோமியம் அலுமினியம் கலவை போன்ற பொதுவான இலக்குகள்.

(2) பயன்பாடு: பொதுவாக மேற்பரப்பை வலுப்படுத்த பயன்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: உயர் செயல்திறன் தேவைகள் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை.

　　6. மின்னணு சாதனங்களுக்கான இலக்குகள்

(1) பொதுவான இலக்குகள்: மின்னணு சாதனங்களுக்கான பொதுவான அலுமினிய அலாய் / சிலிசைடு இலக்குகள்

(2) நோக்கம்: பொதுவாக மெல்லிய பட எதிர்ப்புகள் மற்றும் மின்தேக்கிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

(3) செயல்திறன் தேவைகள்: சிறிய அளவு, நிலைத்தன்மை, குறைந்த எதிர்ப்பு வெப்பநிலை குணகம்