ரிச் ஸ்பெஷல் மெட்டீரியல் கோ., லிமிடெட், செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு உயர் தூய்மையான அலுமினியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள், தாமிர ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள், டான்டலம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள், டைட்டானியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் போன்றவற்றை உருவாக்க முடியும்.
செமிகண்டக்டர் சில்லுகள் அதிக தொழில்நுட்ப தேவைகள் மற்றும் இலக்குகளை சிதறடிப்பதற்கான அதிக விலைகளைக் கொண்டுள்ளன.பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள், சோலார் செல்கள் மற்றும் பிற பயன்பாடுகளை விட, ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் தூய்மை மற்றும் தொழில்நுட்பத்திற்கான அவற்றின் தேவைகள் அதிகம்.செமிகண்டக்டர் சில்லுகள் தூய்மை மற்றும் உள் நுண் கட்டமைப்பின் மீது மிகக் கடுமையான தரங்களை அமைக்கின்றன.ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் அதிகமாக இருந்தால், உருவாக்கப்பட்ட படம் தேவையான மின் பண்புகளை பூர்த்தி செய்ய முடியாது.ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டில், செதில்களின் மீது துகள்களை உருவாக்குவது எளிது, இதன் விளைவாக குறுகிய சுற்று அல்லது சுற்று சேதம் ஏற்படுகிறது, இது படத்தின் செயல்திறனை தீவிரமாக பாதிக்கிறது.பொதுவாகச் சொன்னால், சிப் உற்பத்திக்கு அதிக தூய்மையான ஸ்பட்டரிங் இலக்கு தேவைப்படுகிறது, இது பொதுவாக 99.9995% (5N5) அல்லது அதற்கும் அதிகமாகும்.
தடுப்பு அடுக்குகள் மற்றும் பேக்கேஜிங் உலோக வயரிங் அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.செதில் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், இலக்கு முக்கியமாக மின்கடத்தா அடுக்கு, தடுப்பு அடுக்கு மற்றும் உலோக கட்டம் ஆகியவற்றை உருவாக்க பயன்படுத்தப்படுகிறது.சிப் பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில், புடைப்புகள் கீழ் உலோக அடுக்குகள், வயரிங் அடுக்குகள் மற்றும் பிற உலோக பொருட்கள் உருவாக்க sputtering இலக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.செமி உற்பத்தி மற்றும் சிப் பேக்கேஜிங்கில் பயன்படுத்தப்படும் இலக்கு பொருட்களின் அளவு சிறியதாக இருந்தாலும், செமி புள்ளிவிவரங்களின்படி, செதில் உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில் இலக்கு பொருட்களின் விலை சுமார் 3% ஆகும்.இருப்பினும், ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் தரம் கடத்தும் அடுக்கு மற்றும் தடை அடுக்கின் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது, இதன் மூலம் சிப்பின் பரிமாற்ற வேகம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பாதிக்கிறது.எனவே, செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கான முக்கிய மூலப்பொருட்களில் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு ஒன்றாகும்
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-16-2022