ஆப்டிகல் சேமிப்பு துறையில் இலக்கு பொருட்களுக்கான செயல்திறன் தேவைகள்

தரவு சேமிப்பகத் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் இலக்குப் பொருளுக்கு அதிக தூய்மை தேவைப்படுகிறது, மேலும் அசுத்தங்கள் மற்றும் துளைகளைக் குறைக்க வேண்டும்.உயர்தர தயாரிப்புகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் இலக்குப் பொருளுக்கு அதன் படிகத் துகள் அளவு சிறியதாகவும் சீரானதாகவும் இருக்க வேண்டும், மேலும் படிக நோக்குநிலை இல்லாமல் இருக்க வேண்டும்.கீழே, இலக்கு பொருளுக்கான ஆப்டிகல் சேமிப்புத் துறையின் தேவைகளைப் பார்ப்போம்?

1. தூய்மை

நடைமுறை பயன்பாடுகளில், வெவ்வேறு தொழில்கள் மற்றும் தேவைகளுக்கு ஏற்ப இலக்கு பொருட்களின் தூய்மை மாறுபடும்.இருப்பினும், ஒட்டுமொத்தமாக, இலக்கு பொருளின் அதிக தூய்மை, sputtered படத்தின் செயல்திறன் சிறப்பாக இருக்கும்.எடுத்துக்காட்டாக, ஆப்டிகல் சேமிப்புத் துறையில், இலக்கு பொருளின் தூய்மை 3N5 அல்லது 4N ஐ விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும்.

2. தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்

இலக்குப் பொருள் ஸ்பட்டரிங்கில் கத்தோட் மூலமாக செயல்படுகிறது, மேலும் திண்மத்தில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் துளைகளில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி ஆகியவை மெல்லிய படலங்களை வைப்பதற்கான முக்கிய மாசு ஆதாரங்களாகும்.கூடுதலாக, வெவ்வேறு பயன்பாடுகளின் இலக்குகளுக்கு சிறப்புத் தேவைகள் உள்ளன.ஆப்டிகல் சேமிப்புத் துறையை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், பூச்சுகளின் தரத்தை உறுதிசெய்ய, ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளில் உள்ள தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் மிகக் குறைவாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.

3. தானிய அளவு மற்றும் அளவு விநியோகம்

வழக்கமாக, இலக்கு பொருள் ஒரு பாலிகிரிஸ்டலின் அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, தானிய அளவுகள் மைக்ரோமீட்டர்கள் முதல் மில்லிமீட்டர்கள் வரை இருக்கும்.ஒரே கலவை கொண்ட இலக்குகளுக்கு, கரடுமுரடான தானிய இலக்குகளை விட நுண்ணிய தானிய இலக்குகளின் ஸ்பட்டரிங் வீதம் வேகமாக இருக்கும்.சிறிய தானிய அளவு வேறுபாடுகளைக் கொண்ட இலக்குகளுக்கு, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத் தடிமன் மிகவும் சீரானதாக இருக்கும்.

4. சுருக்கம்

திடமான இலக்குப் பொருளில் உள்ள போரோசிட்டியைக் குறைப்பதற்கும், படத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும், பொதுவாக ஸ்பட்டரிங் இலக்குப் பொருள் அதிக அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.இலக்கு பொருளின் அடர்த்தி முக்கியமாக தயாரிப்பு செயல்முறையைப் பொறுத்தது.உருகுதல் மற்றும் வார்ப்பு முறை மூலம் தயாரிக்கப்படும் இலக்குப் பொருள், இலக்குப் பொருளின் உள்ளே துளைகள் இல்லை என்பதையும், அடர்த்தி மிக அதிகமாக இருப்பதையும் உறுதி செய்ய முடியும்.