வெற்றிட எலக்ட்ரோடெபோசிஷனில் இலக்குகளின் செயல்பாடுகள்

இலக்கு பல செயல்பாடுகளையும் பல துறைகளில் பரந்த பயன்பாடுகளையும் கொண்டுள்ளது.இலக்கைச் சுற்றி ஆர்கானின் அயனியாக்கத்தை விரைவுபடுத்த எலக்ட்ரான்களைச் சுழலச் செய்ய புதிய ஸ்பட்டரிங் கருவி சக்தி வாய்ந்த காந்தங்களைப் பயன்படுத்துகிறது, இது இலக்கு மற்றும் ஆர்கான் அயனிகளுக்கு இடையே மோதலின் நிகழ்தகவை அதிகரிக்கிறது,

தெளித்தல் வீதத்தை அதிகரிக்கவும்.பொதுவாக, DC sputtering உலோக பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது, RF தகவல் தொடர்பு sputtering அல்லாத கடத்தும் பீங்கான் காந்த பொருட்கள் பயன்படுத்தப்படுகிறது.வெற்றிடத்தில் இலக்கின் மேற்பரப்பில் ஆர்கான் (AR) அயனிகளைத் தாக்க பளபளப்பு வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்துவதே அடிப்படைக் கொள்கையாகும், மேலும் பிளாஸ்மாவில் உள்ள கேஷன்கள் தெறிக்கப்பட்ட பொருளாக எதிர்மறை மின்முனை மேற்பரப்புக்கு விரைந்து செல்ல முடுக்கிவிடுகின்றன.இந்த தாக்கம் இலக்கின் பொருளை வெளியே பறக்கச் செய்து, அடி மூலக்கூறின் மீது படிவத்தை உருவாக்குகிறது.

பொதுவாக, ஸ்பட்டரிங் செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி ஃபிலிம் பூச்சுக்கு பல அம்சங்கள் உள்ளன:

(1) உலோகம், அலாய் அல்லது இன்சுலேட்டரை மெல்லிய படத் தரவுகளாக உருவாக்கலாம்.

(2) பொருத்தமான அமைப்பு நிலைமைகளின் கீழ், ஒரே கலவையுடன் கூடிய படம் பல மற்றும் ஒழுங்கற்ற இலக்குகளிலிருந்து உருவாக்கப்படலாம்.

(3) டிஸ்சார்ஜ் வளிமண்டலத்தில் ஆக்ஸிஜன் அல்லது பிற செயலில் உள்ள வாயுக்களை சேர்ப்பதன் மூலம் இலக்கு பொருள் மற்றும் வாயு மூலக்கூறுகளின் கலவை அல்லது கலவையை உருவாக்கலாம்.

(4) இலக்கு உள்ளீட்டு மின்னோட்டம் மற்றும் ஸ்பட்டரிங் நேரத்தைக் கட்டுப்படுத்தலாம், மேலும் அதிக துல்லியமான படத் தடிமனைப் பெறுவது எளிது.

(5) இது மற்ற படங்களின் தயாரிப்புக்கு நன்மை பயக்கும்.

(6) சிதறிய துகள்கள் ஈர்ப்பு விசையால் பாதிக்கப்படுவதில்லை, மேலும் இலக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறு சுதந்திரமாக ஒழுங்கமைக்கப்படலாம்.