ஸ்பட்டர் இலக்கு பொருள் என்றால் என்ன

Magnetron sputtering coating என்பது ஒரு புதிய உடல் நீராவி பூச்சு முறையாகும், முந்தைய ஆவியாதல் பூச்சு முறையுடன் ஒப்பிடுகையில், பல அம்சங்களில் அதன் நன்மைகள் மிகவும் குறிப்பிடத்தக்கவை.ஒரு முதிர்ந்த தொழில்நுட்பமாக, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பல துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

　　மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கொள்கை:

ஒரு ஆர்த்தோகனல் காந்தப்புலம் மற்றும் மின்சார புலம் சிதறிய இலக்கு துருவம் (கேத்தோடு) மற்றும் அனோடிற்கு இடையே சேர்க்கப்படுகிறது, மேலும் தேவையான மந்த வாயு (பொதுவாக Ar வாயு) உயர் வெற்றிட அறையில் நிரப்பப்படுகிறது.நிரந்தர காந்தம் இலக்கு பொருளின் மேற்பரப்பில் 250-350 காஸ் காந்தப்புலத்தை உருவாக்குகிறது, மேலும் ஆர்த்தோகனல் மின்காந்த புலம் உயர் மின்னழுத்த மின்சார புலத்துடன் உருவாக்கப்படுகிறது.மின்சார புலத்தின் விளைவின் கீழ், Ar வாயு அயனியாக்கம் நேர்மறை அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்கள், இலக்கு மற்றும் குறிப்பிட்ட எதிர்மறை அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளது, துருவத்திலிருந்து இலக்கிலிருந்து காந்தப்புலத்தின் விளைவு மற்றும் வேலை செய்யும் வாயு அயனியாக்கம் நிகழ்தகவு அதிகரிப்பு, அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. கத்தோட், லோரென்ட்ஸ் விசையின் செயல்பாட்டின் கீழ் ஆர் அயன், இலக்கு மேற்பரப்பில் பறக்கும் வேகத்தை அதிகரிக்கிறது, அதிக வேகத்தில் இலக்கு மேற்பரப்பில் குண்டு வீசுகிறது, இலக்கின் மீது சிதறிய அணுக்கள் வேகத்தை மாற்றும் கொள்கையைப் பின்பற்றுகின்றன மற்றும் அதிக இயக்கத்துடன் இலக்கு மேற்பரப்பில் இருந்து பறந்து செல்கின்றன. அடி மூலக்கூறு படிவு படத்திற்கு ஆற்றல்.

Magnetron sputtering பொதுவாக இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகிறது: DC sputtering மற்றும் RF sputtering.DC sputtering உபகரணங்களின் கொள்கை எளிமையானது மற்றும் உலோகத்தை sputtering போது விகிதம் வேகமாக உள்ளது.RF sputtering இன் பயன்பாடு மிகவும் விரிவானது, கடத்தும் பொருட்களைத் துடைப்பதைத் தவிர, கடத்தும் அல்லாத பொருட்களைத் துடைக்கிறது, ஆனால் ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள் மற்றும் கார்பைடுகள் மற்றும் பிற கலவைப் பொருட்களின் எதிர்வினை ஸ்பட்டரிங் தயாரிப்பும் ஆகும்.RF இன் அதிர்வெண் அதிகரித்தால், அது மைக்ரோவேவ் பிளாஸ்மா ஸ்பட்டரிங் ஆகிறது.தற்போது, ​​எலக்ட்ரான் சைக்ளோட்ரான் ரெசனன்ஸ் (ECR) வகை மைக்ரோவேவ் பிளாஸ்மா ஸ்பட்டரிங் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

　　Magnetron sputtering பூச்சு இலக்கு பொருள்:

மெட்டல் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள், பூச்சு அலாய் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பொருள், பீங்கான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பொருள், போரைடு பீங்கான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருட்கள், கார்பைடு பீங்கான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள், ஃவுளூரைடு பீங்கான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள், நைட்ரைடு பீங்கான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள், செராமிக் இலக்கு பொருள்கள் சிலிசைடு செராமிக் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருட்கள், சல்பைட் செராமிக் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு பொருள், டெல்லூரைடு செராமிக் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு, மற்ற பீங்கான் இலக்கு, குரோமியம்-டோப் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் ஆக்சைடு செராமிக் இலக்கு (CR-SiO), இண்டியம் பாஸ்பைடு இலக்கு (InP), முன்னணி ஆர்சனைடு இலக்கு (PdbArsenide) இலக்கு (InAs).